PA-Micro
主要特點(diǎn):
項(xiàng)次
項(xiàng)目
具體參數(shù)
1
輸出項(xiàng)目
相位差【nm】,軸方向【°】,相位差與應(yīng)力換算(選配)【MPa】
2
測(cè)量波長(zhǎng)
520nm
3
雙折射測(cè)量范圍
0-130nm
4
測(cè)量*小分辨率
0.001nm
5
測(cè)量重復(fù)精度
<1nm(西格瑪)
6
視野尺寸
142x170um到3.5x4.2mm (×2,×5,×10,×20,×50)
7
選配鏡頭視野
無(wú)
8
選配功能
實(shí)時(shí)解析軟件,鏡片解析軟件,數(shù)據(jù)處理軟件,實(shí)現(xiàn)外部控制
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PA-Micro
主要特點(diǎn):
應(yīng)用領(lǐng)域:
項(xiàng)次
項(xiàng)目
具體參數(shù)
1
輸出項(xiàng)目
相位差【nm】,軸方向【°】,相位差與應(yīng)力換算(選配)【MPa】
2
測(cè)量波長(zhǎng)
520nm
3
雙折射測(cè)量范圍
0-130nm
4
測(cè)量*小分辨率
0.001nm
5
測(cè)量重復(fù)精度
<1nm(西格瑪)
6
視野尺寸
142x170um到3.5x4.2mm
(×2,×5,×10,×20,×50)
7
選配鏡頭視野
無(wú)
8
選配功能
實(shí)時(shí)解析軟件,鏡片解析軟件,數(shù)據(jù)處理軟件,實(shí)現(xiàn)外部控制
測(cè)量案例: