非接觸式三維測(cè)量?jī)x

采用激光非接觸式測(cè)量，適用于多種材料和復(fù)雜結(jié)構(gòu)的樣品的三維測(cè)量設(shè)備。

NH系列是由高測(cè)量度的激光自動(dòng)對(duì)焦顯微鏡，以及高精密度的XYZ載臺(tái)所構(gòu)成。如圖所示，被射入顯微鏡鏡頭的激光穿過(guò)物鏡后聚焦于光軸中心之處，接著反射于工件表面再穿過(guò)物鏡后成像于AF傳感器之上。由于失焦時(shí)，激光光點(diǎn)會(huì)于傳感器上產(chǎn)生位置變化，使得傳感器能捕捉到此位置變化，并利用AF驅(qū)動(dòng)機(jī)制將物鏡定位于聚焦處。進(jìn)行形狀測(cè)量時(shí)，會(huì)利用自動(dòng)XY載臺(tái)掃描工件，取得所聚焦各點(diǎn)之XYZ值。以這樣的方式進(jìn)行作業(yè)，工件表面的顏色或反射率等不僅不會(huì)受到影響，并且可達(dá)到大范圍的高精度測(cè)量。

主要精度：

XY分解能：0.01μm

Z分解能：0.001μm

XY測(cè)定範(fàn)囲：150mm

Z測(cè)定範(fàn)囲：10mm

應(yīng)用實(shí)例：