Sonoscan AW系列 C-SAM 超聲波掃描顯微鏡

價(jià)格
電議

型號(hào)
Sonoscan AW系列

品牌
Sonoscan

所在地
北京市 海淀區(qū)

更新時(shí)間
2024-07-24 15:49:45

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    ?? w?? Sonoscan AW系列 C-SAM 超聲波掃描顯微鏡是為晶圓檢測而設(shè)計(jì)全自動(dòng)系統(tǒng)。
    Sonoscan AW系列 C-SAM 超聲波掃描顯微鏡

    AW系列產(chǎn)品是為晶圓檢測而設(shè)計(jì)全自動(dòng)系統(tǒng)。高靈敏度和高產(chǎn)能的優(yōu)勢(shì)可用于多種鍵合的晶圓的評(píng)估，如SOI，MEMS，LED，2.5D和3D。該AW系列可以檢測兩晶圓間空隙直徑只有5微米以及晶圓分層薄至200埃的間隙。具有兩個(gè)或更多的掃描頭，分段站和干燥站時(shí)，AW被設(shè)計(jì)為有效地掃描晶圓并同時(shí)進(jìn)行干燥。


    AW 系列-AW200 & AW300
    特色：

    與SECS-II/GEM/SEMI300毫米標(biāo)準(zhǔn)兼容
    非浸水瀑布式探頭
    *的圖像分析軟件
    高精度機(jī)器手可以提高產(chǎn)能
    用于FOUPs,SMIF Pod,FOSB及開放式晶圓盒的BOLTS標(biāo)準(zhǔn)裝載接口
    自供水及真空組件的選項(xiàng)
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