美國Thermo鍍層測厚儀

價格
電議

型號
MicronX

品牌
美國Thermo

所在地
上海市 松江縣

更新時間
2019-03-07 20:35:01

瀏覽次數

    更小,更快,更薄

    MicronX系統(tǒng)是專門為靈活應用設計的強有力的測量工具。使用Thermo獨創(chuàng)的, 技術的硬件和軟件, MicronX系統(tǒng)能夠比其它EDXRF儀器測量更小的面積, 更薄的鍍層并且更快。 MicronX系統(tǒng)能夠接受多的金屬薄膜測量的挑戰(zhàn)。

    X-射線能譜技術方面幾十年的經驗帶來了微束X-射線熒光的幾點創(chuàng)新:

    激發(fā)光束的光學準直器可以獲得一束特別明亮的的微束X-射線照在樣品表面

    靈活和精密的樣品定位

    新的X-射線檢測技術

    綜合, 易用的操作界面和應用軟件

    X-射線束準直

    光學準直

    這一革命性的技術發(fā)出小至 20微米, 強度和精度為傳統(tǒng)儀器的1000倍。 強度的增加可以減少測量時間比機械準直快100倍并且精度提高10倍。 光學準直對微束應用是極為重要的, 因為高精度和快速對它是基本的。

    精密樣品定位

    伺服驅動的樣品臺

    為了高精度的樣品定位,MicronX系統(tǒng)采用線性編碼伺服驅動的X-Y-Z樣品臺。 定位精度可以達到+/-5+/-2微米。

    硅片樣品臺有適合于125 mm300 mm大小硅片的許多插板選購件, 樣品臺的行程能達到300 mm硅片的任何一點。

    的真空環(huán)境

    Thermo的真空導管技術包括X-射線束發(fā)生和檢測系統(tǒng), 而樣品在空氣中。 這種獨有的設計創(chuàng)造了一種和樣品室全部抽真空可以比擬的分辨率和靈敏度, 而且樣品操作快速, 方便。

    X-射線檢測

    MicronX有一整套X-射線檢測技術,用戶可以根據自己的應用選擇合適的檢測器。

    除了正比計數管和PIN二極管檢測器以外, MicronX能配置我們獨有的電致冷Si(Li)檢測器或硅漂(SD)檢測器。 這些檢測器均有極好的分辨率和靈敏度, 適合于:

    很薄的薄膜應用

    高精度要求

    成份復雜, 有重疊峰的多元素或合金

    Si(Li)檢測器

    鋰漂移硅[Si(Li)] 檢測器為很薄的薄膜應用提供高的分辨率和靈敏度。 數字式信號處理和Si(Li)檢測器技術保證了高的計數率通量。 無液氮的方便。

    硅漂(SD)檢測器

    硅漂檢測器技術和數字式脈處理電子學系統(tǒng)提供了高的計數率通量, 而高計數率通量可以縮短測量時間和提高精度達3倍。

    MicronX 設計的有如下特點:

    精密的光學系統(tǒng)

    變焦, 激光輔助聚焦, 和計算機發(fā)生的十字線能對極小的部件和結構精密定位。

    應用界面的設計者

    用戶可用圖標板創(chuàng)建的應用界面。

    報告樣板

    創(chuàng)建用戶的報告格式或者摁一鍵選用一種的質量報告。

    XYZ樣品臺和2M/3M分布圖

    可編程選項和部件固定的自動成批測量。

    圖案識別

    自動快速和。

    統(tǒng)計工具

    包括平均值, 標準偏差, 百分偏差,Pp/Ppk, Min/Max, 直方圖, 趨勢線,和R-圖。 可將數據傳入Excel和其它程序。

    部件號編碼

    可選用部件號或工號為應用編碼。

     

    操作界面

    精密

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