考慮了檢查效率的設(shè)計(jì)
前面板
[1] 照明強(qiáng)度旋鈕
[2] 物鏡倍率切換
[3] 孔徑光闌調(diào)節(jié)
在對(duì)比度的決定上起重要作用的孔徑光闌(AS)的開閉調(diào)節(jié),與物鏡的切換和觀察模式連動(dòng),用一個(gè)按鈕就可以操作。此外,用一個(gè)手指就可以調(diào)光的旋鈕也配置在前面板上,從而提高了檢查速度。物鏡和孔徑光闌(AS)的按鈕分別斜向配置,手不離開對(duì)焦手柄,只要輕動(dòng)大拇指就可以操作。這個(gè)按鈕的傾斜式設(shè)計(jì)提高了手指尖的感知度,能夠防止錯(cuò)誤操作。
傾斜鏡筒示意圖
為了適應(yīng)視點(diǎn)而調(diào)整座椅的高度,或是以不合理的姿勢(shì)進(jìn)行檢查的話會(huì)浪費(fèi)時(shí)間,降低工作速度。但是,配備傾斜角度為0°~42°(可變高度為150 mm,SEMIS8對(duì)應(yīng))的傾斜鏡筒,可采取與檢查者體格無關(guān)的舒適觀察姿勢(shì),甚至可以站立檢查。此外,這一款鏡筒拉長(zhǎng)了從觀察中心軸到觀察者視點(diǎn)的距離,可以在較大的平臺(tái)上輕松操作。
內(nèi)置離合器的載物臺(tái)手柄
對(duì)應(yīng)300 mm晶圓/17英寸面板的MX-SIC1412R2載物臺(tái)有較大的透射照明范圍(Y方向284mm)。另外,內(nèi)置離合器的載物臺(tái)手柄,可切換粗調(diào)和微調(diào)。在顯微鏡觀察的同時(shí)能自由地移動(dòng)載物臺(tái),快速完成檢查。
物鏡是涉及到樣品的照明和觀察的重要部件,奧林巴斯有應(yīng)對(duì)多種多樣的觀察方法、長(zhǎng)工作距離、紅外光及LCD檢查用的齊全的物鏡產(chǎn)品陣容可供選擇。
觀察影像實(shí)例
明視場(chǎng)觀察
暗視場(chǎng)觀察
微分干涉觀察
熒光觀察
軟件方案
MX61L配備了PC界面,可以讀取顯微鏡的電動(dòng)功能。因此,捕獲影像時(shí)可以自動(dòng)保存物鏡倍率,為日后處理和分析影像提供可靠的影像信息。
三目鏡筒可以安裝數(shù)碼照相機(jī)??梢员4婧陀涗洈?shù)碼影像,幫助創(chuàng)建觀察報(bào)告??梢罁?jù)用途從圖像質(zhì)量、功能、使用方便性等方面選擇數(shù)碼照相機(jī)。
電動(dòng)物鏡轉(zhuǎn)換器示意圖
電動(dòng)物鏡轉(zhuǎn)換器的切換速度比原來提高了20%。物鏡的切換,可以操作按鈕瞬時(shí)間完成,提高了檢查速度。三種潔凈類型的物鏡轉(zhuǎn)換器可以按需選擇。另外,UIS2物鏡大幅度地提高了高倍率的偏心精度。即便是有小尺寸攝像元件的CCD攝像機(jī),在切換倍率時(shí)也不會(huì)由視場(chǎng)中心附近偏離。
AS自動(dòng)調(diào)節(jié)示意圖
每次變換物鏡時(shí)都需要調(diào)節(jié)孔徑光闌(AS)的話,會(huì)影響檢查速度。MX61L對(duì)每個(gè)物鏡都可以設(shè)置觀察方法和AS(14級(jí)),只要切換物鏡就能以合適的對(duì)比度進(jìn)行觀察。在變換物鏡和切換觀察模式時(shí)不再需要花時(shí)間調(diào)節(jié)AS,提高速度的同時(shí)減輕了操作員的疲勞。
自動(dòng)晶圓搬送機(jī)AL110(200 mm規(guī)格)組合
MX61L能與自動(dòng)晶圓搬送機(jī)組合,組合后的尺寸也被設(shè)計(jì)得很小。能夠無接觸、安全和快速的執(zhí)行從內(nèi)面的宏觀檢查到微觀檢查等多種任務(wù)。此外,晶圓盒還可以從前面輕松設(shè)置。如果使用選件的遙控器,那么不良晶圓的登錄、開始和保存都可以在手中快速完成。
由可見光線領(lǐng)域到近紅外線領(lǐng)域的像差校正物鏡,和紅外線用廣角三目鏡筒等,對(duì)應(yīng)近紅外線的裝置備有各種型號(hào)。在晶圓凸出物接觸面等的觀察上發(fā)揮威力。
近紅外線觀察單元
粘合襯墊
熒光觀察單元
在滑桿上追加鏡子裝置可以對(duì)應(yīng)熒光觀察。備有U.B.G激勵(lì)的反射鏡裝置,可有效地檢查和分析有機(jī)EL和殘留光刻膠。
熒光鏡單元
熒光觀察
透射照明單元
對(duì)應(yīng)光掩模和FPD檢查的透射照明單元。偏振光片的搭載,實(shí)現(xiàn)了透射簡(jiǎn)易偏振光觀察。有通用的A型號(hào)和高NA(數(shù)值孔徑)的B型號(hào)兩種型號(hào)。
MX61/MX61L金相顯微鏡技術(shù)參數(shù):
半導(dǎo)體/FPD檢查顯微鏡 規(guī)格 | MX61L | MX61 | ||
光學(xué)系統(tǒng) | UIS2光學(xué)系統(tǒng)(無限遠(yuǎn)校正) | |||
機(jī)身 | 觀察方法 | 明視場(chǎng)/暗視場(chǎng)/微分干涉/簡(jiǎn)易偏振光/熒光 | ||
反射/透射 | 反射/透射 | |||
照明裝置 | 機(jī)身一體型(明視場(chǎng),暗視場(chǎng)+1選件) | |||
照明系統(tǒng) | 反射照明 | 100 W鹵素/100 W水銀/75 W氙 | ||
透射照明 | 纖維光導(dǎo) | |||
對(duì)焦單元 | 電動(dòng)/手動(dòng) | 手動(dòng) | ||
行程 | 32 mm | |||
分辨率/微調(diào)靈敏度 | 微調(diào)旋鈕轉(zhuǎn)動(dòng)1周移動(dòng)0.1 mm | |||
樣本高度 | 30 mm | |||
物鏡轉(zhuǎn)換器 | 電動(dòng)型 | 明視場(chǎng)微分干涉6孔 | ||
明暗視場(chǎng)微分干涉5孔 | ||||
明暗視場(chǎng)微分干涉6孔 | ||||
明暗視場(chǎng)微分干涉中心輸出5孔 | ||||
手動(dòng)式 | - | |||
載物臺(tái) | 行程 |
14×12英寸右下手柄: 356(X)×305(Y)mm (透射照明范圍356×284 mm) |
8×8 英寸右下手柄: 210(X)×210(Y)mm (透射照明范圍189×189 mm) 6×6 英寸右下手柄: 158(X)×158(Y)mm |
|
觀察筒 |
廣角視場(chǎng) (視場(chǎng)數(shù)22) |
倒置 | 雙目/三目觀察筒 | |
正像 | 三目觀察筒 | |||
寬視場(chǎng) (視場(chǎng)數(shù)26.5) |
倒置 | 三目觀察筒 | ||
正像 | 傾斜三目觀察筒 | |||
附件單元 | IR單元/電動(dòng)載物臺(tái)/自動(dòng)裝載 | |||
外形尺寸 |
710(W)×843(D)×507(H)mm (標(biāo)準(zhǔn)組合) |
509(W)×843(D)×507(H)mm (標(biāo)準(zhǔn)組合) |
||
重量 | 51 kg(標(biāo)準(zhǔn)組合) | 40 kg(標(biāo)準(zhǔn)組合) |
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