功能 |
多路氣體配氣儀,動(dòng)態(tài)配氣稀釋儀 |
基本型號(hào) |
MIH1000系列 |
氣量范圍 |
0~200SLM(可在此范圍內(nèi)任意定制) |
稀釋配比范圍 |
1ppm到 |
流量單位 |
SCCM (標(biāo)準(zhǔn)毫升/分) SLM(標(biāo)準(zhǔn)升/分) |
精度誤差 |
±1%F.S.(可定制更高) |
工作壓差范圍 |
0.1~0.5MPa |
大耐壓 |
3MPa(可定制更高) |
漏率 |
≤1×10-9Pa·m3/S(He) |
響應(yīng)時(shí)間 |
≤2 sec |
輸出信號(hào) |
標(biāo)準(zhǔn)RS485.RS232(可選) |
介質(zhì)輸入溫度 |
5~45℃ |
工作環(huán)境溫度 |
5~45℃ |
工作環(huán)境濕度 |
<80RH |
供電電源 |
220VAC±10,50Hz |
介質(zhì)接觸材質(zhì) |
氟橡膠,硅橡膠,丁晴橡膠,聚四氟乙烯,金屬密封型 |
接頭尺寸 |
Swagelok 1/8,1/4,3/8,1/2或φ3,φ6,φ8φ10,φ12 |
顯示方式 |
電腦/觸摸屏/儀表 |
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