掃描探針顯微鏡OLS4500

價格
電議

型號
OLS4500

品牌
奧林巴斯

所在地
江蘇省 蘇州市

更新時間
2024-06-19 15:12:22

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    實現(xiàn)納米級觀測的*顯微鏡。不會丟失鎖定的目標。

    涵蓋了低倍到高倍觀察,并配有多種觀察方法可以迅速發(fā)現(xiàn)觀察對象。
    可以完成低倍到高倍的大范圍倍率觀察。不僅如此,*光學技術打造的光學顯微鏡帶來多種觀察方法,可以容易的發(fā)現(xiàn)觀察對象。此外,對于光學顯微鏡難以找到的觀察對象,還可以使用激光顯微鏡進行觀察。在激光微分干涉(DIC) 
    觀察中,可以進行納米級微小凹凸的實時觀察。

    明視場觀察(IC元件)

    微分干涉(DIC)觀

    激光微分干涉(DIC)觀察

    縮短從放置樣品到獲取影像的工作時間。
    放置好樣品后,所有的操作都在1臺裝置上完成??梢匝杆伲_的把觀察對象移到SPM顯微鏡下面,所以只要掃描1次就能獲取所需的SPM影像。


    一體機的機型,所以無需重新放置樣品只要在1臺裝置上切換倍率、觀察方法就能夠靈活應對新樣品。

    OLS4500是把光學顯微鏡、激光顯微鏡、探針顯微鏡融于一體的一體機,所以無需重新放置樣品,即可自由切換3種顯微鏡進行觀察和評價。這3種顯微鏡各自持有優(yōu)異的性能,所以能夠高效輸出*結(jié)果。



    OLS4500實現(xiàn)了無縫觀察和測量




    【發(fā)現(xiàn)】可以迅速發(fā)現(xiàn)觀察對象

    使用光學顯微鏡的多種觀察方法, 迅速找到觀察對象
    OLS4500采用了白色LED光源, 可以觀察到顏色逼真的高分辨率彩色影像。它裝有4種物鏡, 涵蓋了低倍到高倍的大范圍觀察。OLS4500充分發(fā)揮了光學觀察的特長, 除了*常使用的明視場觀察(BF)以外, 還可以使用對微小的凹凸添加明暗對比, 達到視覺立體效果的微分干涉觀察(DIC), 以及用顏色表現(xiàn)樣品偏光性的簡易偏振光觀察。此外, OLS4500上還配有HDR功能(高動態(tài)范圍功能), 該功能使用不同的曝光時間拍攝多張影像后進行合成, 來顯示亮度平衡更好、強調(diào)了紋理的影像。在OLS4500上您可以使用多種觀察方法迅速找到觀察對象。

    BF 明視場
    *常使用的觀察方法。在觀察中真實再現(xiàn)樣品的 
    顏色。適用于觀察有明暗對比的樣品。

    DIC 微分干涉
    對于在明視場觀察中看不到的樣品的微小高低差, 
    添加明暗對比使之變?yōu)榱Ⅲw可視。適用于觀察金 
    相組織、硬盤和晶圓拋光表面之類鏡面上的傷痕 
    或異物等。

    簡易偏振光
    照射偏振光(有著特定振動方向的光線), 使樣 
    品的偏光性變?yōu)槿庋劭梢?。適用于觀察金相組織、礦物、半導體材料等。

    HDR 高動態(tài)范圍
    使用不同曝光時間拍攝多張影像并進行影像合成, 
    可以觀察平衡度較好的明亮部分和陰暗部分。此 
    外,還可以強調(diào)紋理(表面狀態(tài)),進行更精細的 
    觀察。




    使用激光顯微鏡,可以觀察到光學顯微鏡中難以觀察到的樣品影像
    OLS4500采用了短波長405 nm的激光光源和高N.A.的物鏡, 實現(xiàn)了優(yōu)異的平面分辨率。能以鮮明的影像呈現(xiàn)出光學顯微鏡中無法看到的觀察對象。在激光微分干涉(DIC)模式中還可以實時觀察納米級的微小凹凸。

    明視場觀察(玻璃板上的異物)

    激光微分干涉觀察







    【接近】迅速發(fā)現(xiàn)觀察對象,在SPM上正確完成觀察
    實現(xiàn)了無縫觀察,不會丟失觀察對象
    OLS4500在電動物鏡轉(zhuǎn)換器上裝配了涵蓋低倍到高倍觀察的4種物鏡, 以及小型SPM單元。在光學顯微鏡或激光顯微鏡的50倍、100倍的實時觀察中, 由于SPM掃描范圍一直顯示于視場中心, 所以把觀察目標點對準該位置后, 只要切換到探針顯微鏡, 就能夠正確接近觀察對象。因此, 只需1次SPM掃描就能獲取目標影像, 從而能夠提高工作效率并降低微懸臂的損耗。


    不會在SPM觀察中迷失的、可切換式向?qū)Чδ?br />
    使用探針顯微鏡開始觀察之前, 可以在向?qū)М嬅嫔显O置所需的條件, 如安裝微懸臂、掃描范圍等。所以經(jīng)驗較少的操作者也能安心完成操作。







    【納米級測量】簡單操作,可以迅速獲得測量結(jié)果
    新開發(fā)的小型SPM測頭, 減少了影像瑕疵

    新開發(fā)的小型SPM測頭
    OLS4500采用了裝在電動物鏡轉(zhuǎn)換器上的物鏡型SPM測頭。同軸、共焦配置了物鏡和微懸臂前端,所以切換SPM觀察時不會丟失觀察目標點。不僅如此,新開發(fā)的小型SPM測頭提高了剛性,所以與傳統(tǒng)產(chǎn)品相比,減少了影像瑕疵并提高了可追蹤性。






    使用向?qū)Чδ埽杂煞糯骃PM影像
    使用向?qū)Чδ埽?可以觀察時進一步放大探針顯微鏡拍到的影像的所需部分倍率。只要在影像上用鼠標指針設置放大范圍并掃描, 就可以獲取所需的SPM影像??梢宰杂稍O置掃描范圍, 所以大幅度提高了觀察和測量的效率。

    向?qū)Чδ茉?0μm×10μm影像上放大3.5μm×3.5μm范圍

    優(yōu)異的分析功能, 應對各種測量目的

    曲率測量(硬盤的傷痕)
    OLS4500能夠根據(jù)您的測量目的分析在各種測量模式中獲取的影像,并以CSV格式輸出測量結(jié)果。OLS4500有以下分析功能。
    ?
    截面形狀分析(曲率測量、夾角測量)
    ?
    ?
    粗糙度分析
    ?
    ?
    形態(tài)分析(面積、表面積、體積、高度、柱狀值、承載比)
    ?
    ?
    評價高度測量(線、面積)
    ?
    ?
    粒子分析(選項功能)
    ?






    跟從向?qū)М嬅娴闹甘荆?可輕松操作的6種SPM測量模式

    接觸模式
    控制微懸臂與樣品之間作用的排斥力為恒定的同時, 使微懸臂進行靜態(tài)掃描, 在影像中呈現(xiàn)樣品的高度。還可以進行彎曲測量。


    金屬薄膜





    動態(tài)模式
    使微懸臂在共振頻率附近振動, 并控制Z方向的距離使振幅恒定, 從而在影像中呈現(xiàn)樣品高度。特別適用于高分子化合物之類表面柔軟的樣品及有粘性的樣品。




    鋁合金表面






    相位模式
    在動態(tài)模式的掃描中, 檢測出微懸臂振動的相位延遲。可以在影像中呈現(xiàn)樣品表面的物性差。


    高分子薄膜





    電流模式
    對樣品施加偏置電壓,檢測出微懸臂與樣品之間的電流并輸出影像。此外,還可以進行I/V測量。



    Si電路板上的SiO2圖案樣品。高度影像(左)中顯示為黃色的部分是SiO2。在電流影像(右)中顯示 為藍色(電流不經(jīng)過的部分)。通過上圖,可以明確電路板中也存在電流不經(jīng)過的部分。







    表面電位模式(KFM)
    使用導電性微懸臂并施加交流電壓, 檢測出微懸臂與樣品表面之間作用的靜電, 從而在影像中呈現(xiàn)樣品表面的電位。也稱作KFM(Kelvin Force Microscope)。


    磁帶樣品。在電位影像中可以看出數(shù)百mV的電位差分布于磁帶表面。這些電位差的分布,可以認為 
    是磁帶表面的潤滑膜分布不均勻。






    磁力模式(MFM)
    在相位模式中使用磁化后的微懸臂進行掃描, 檢測出振動的微懸臂的相位延遲, 從而在影像中呈現(xiàn)樣品表面的磁力信息。也稱作MFM(Magnetic Force Microscope)。


    硬盤表面樣品??梢杂^察到磁力信息。






    裝配了激光掃描顯微鏡,靈活應對多種樣品

    輕松檢測85°尖銳角
    采用了有著高N.A. 的物鏡和光學系統(tǒng)(能*限度發(fā)揮405 nm 激光性能),LEXT OLS4500 可以地測量一直以來無法測量的有尖銳角的樣品。

    LEXT 物鏡

    有尖銳角的樣品(剃刀)





    高度分辨率10 nm,輕松測量微小輪廓
    由于采用405 nm的短波長激光和更高數(shù)值孔徑的物鏡, OLS4500達到了0.12 μm的平面分辨率。因此, 可以對樣品的表面進行亞微米的測量。結(jié)合高精度的光柵讀取能力和奧林巴斯獨有的亮度檢測技術, OLS4500可以分辨出亞微米到數(shù)百微米范圍內(nèi)的高度差。此外, 激光顯微鏡測量還保證了測量儀器的兩大指標——“正確性”(測量值與真正值的接近程度)和“重復性”(多次測量值的偏差程度)的性能。

    0.12μm行間距

    高度差標準類型B, PTB-5, Institut für Mikroelektronik, Germany, 6 nm高度測量中的檢測







    從大范圍拼接影像中目標區(qū)域
    高倍率影像容易使視場范圍變小,而通過設置,OLS4500的拼接功能*多可以拼接625幅影像,從而能夠獲得高分辨率的大范圍視圖數(shù)據(jù)。不僅如此,還可以在該大范圍視圖上進行3D顯示或3D測量。

    主機 規(guī)格
    LSM部分 光源、檢出系統(tǒng) 光源:405 nm半導體激光、檢出系統(tǒng):光電倍增管
    倍率 108~17,280X
    變焦 光學變焦:1~8X
    測量 平面測量 重復性 100x : 3σn-1=0.02μm、50x:3σn-1=0.04μm、20x:3σn-1=0.1μm
    正確性 測量值的±2%以內(nèi)
    高度測量 方式 物鏡轉(zhuǎn)換器上下驅(qū)動方式
    行程 10mm
    內(nèi)置比例尺 0.8nm
    移動分辨率 10nm
    顯示分辨率 1nm
    重復性 100x :σn-1= 0.012μm、50x:σn-1=0.012μm、20x:σn-1=0.04μm
    正確性 0.2+L/100 μm以下(L=測量長度)
    彩色觀察部分 光源、檢出系統(tǒng) 光源:白色LED、檢出系統(tǒng):1/1.8英寸200萬像素單片CCD
    變焦 碼變焦:1~8X
    物鏡轉(zhuǎn)換器 6孔電動物鏡轉(zhuǎn)換器
    微分干涉單元 微分干涉滑片:U-DICR、內(nèi)置偏振光片單元
    物鏡 明視場平面半消色差透鏡5X LEXT平面復消色差透鏡20X、50X、100X
    Z對焦部分行程 76 mm
    XY載物臺 100 x 100 mm(電動載物臺)
    SPM部分 運行模式 接觸模式、動態(tài)模式、相位模式、電流模式*、表面電位模式(KFM)*、磁力模式(MFM)*
    位移檢出系統(tǒng) 光杠桿法
    光源 659 nm半導體激光
    檢出設備 光電檢測器
    *掃描范圍 X-Y:* 30 μm x 30 μm、Z:* 4.6 μm
    安裝微懸臂 在盒式微懸臂支架上一鍵安裝。使用微懸臂安裝位置調(diào)整工裝夾具預對位,更換支架時無需光學調(diào)整。
    系統(tǒng) 重量 約440 kg(不包含電腦桌)
    I額定輸入 100-120 V/220-240 V、600 VA、50/60 Hz
    以上信息由企業(yè)自行提供,信息內(nèi)容的真實性、準確性和合法性由相關企業(yè)負責,儀器儀表交易網(wǎng)對此不承擔任何保證責任。
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