Unimill 離子減薄儀

價(jià)格
電議

型號(hào)
Unimill

品牌
Technoorg Linda

所在地
上海市 閔行區(qū)

更新時(shí)間
2024-03-14 13:31:20

瀏覽次數(shù)

    Unimill 離子減薄儀--用于 TEM/XTEM 樣品制備的全自動(dòng)離子束減薄系統(tǒng)


    Technoorg Linda UniMill 離子減薄儀專為快速地制備具備高減薄率的、高質(zhì)量的 TEM/XTEM 樣品而設(shè)計(jì)。 Unimill 既可以使用全球*的高能離子槍進(jìn)行快速研磨,也可以使用的低能離子槍進(jìn)行*終拋光和精修處理。


    Unimill 離子減薄儀


    產(chǎn)品特色:

    · 可直接使用同一臺(tái)儀器進(jìn)行快速減薄和拋光/精細(xì)處理

    · 支持全自動(dòng)的離子槍參數(shù)設(shè)置和手動(dòng)調(diào)節(jié)離子束研磨參數(shù)

    · 具備*廣的離子槍能量范圍: 低能離子槍與高能離子槍結(jié)合,能量范圍可達(dá) 100 eV ~ 16 keV

    · 具備極高的切削率

    · 可選擇配備 LN2 液氮制冷


    離子槍優(yōu)勢(shì)

    UniMill 包括兩支獨(dú)立控制的離子槍:一支高能或高能離子槍和一支低能離子槍。


    高能和高能離子槍:Unimill 的高能和高能離子槍提供了*的研磨率。高達(dá) 16 keV 的離子槍專為要求極低研磨速率的 TEM 樣品制備而設(shè)計(jì)。


    低能離子槍:離子槍的特殊結(jié)構(gòu)可在整個(gè)制備過(guò)程中形成高束流密度。能量極低的離子束保證了表面損傷和離子束誘導(dǎo)非晶化效應(yīng)的*小化。


    離子槍控制:所有離子槍參數(shù),如加速電壓和離子束電流在內(nèi)均由智能反饋回路控制,但始終可以在樣品制備過(guò)程中進(jìn)行手動(dòng)調(diào)節(jié)。離子槍參數(shù)的初始值支持自動(dòng)設(shè)置或手動(dòng)調(diào)節(jié),同時(shí)可在電腦上連續(xù)監(jiān)控和顯示。


    性能參數(shù)


    離子槍


    高能離子槍(可選):

    · 離子束能量:高達(dá)16 keV,連續(xù)可調(diào)

    · 離子束電流:高達(dá) 500 μA

    · 離子束直徑:1.6 - 1.8 mm (FWHM)


    高能離子槍(標(biāo)配):

    · 離子束能量:高達(dá)10 keV,連續(xù)可調(diào)

    · 離子束電流:高達(dá) 300 μA

    · 離子束直徑:0.9 - 1.3 mm (FWHM)


    低能離子槍:

    · 離子束能量:100 eV - 2 keV,連續(xù)可調(diào)

    · 離子束電流:7 - 80 μA

    · 離子束直徑:1.5 - 2.2 mm (FWHM)


    樣品臺(tái)

    · 切削角度:0°- 40°,每 0.1° 連續(xù)可調(diào)

    · 電腦控制的平面內(nèi)樣品旋轉(zhuǎn)和移動(dòng):

    · 360° 旋轉(zhuǎn)

    · 從±10° 到±120° 移動(dòng),每 10° 連續(xù)可調(diào)

    · 可兼容的 TEM 樣品厚度范圍 (30 - 200 μm)


    成像系統(tǒng)

    · 用于全視覺(jué)控制和切削監(jiān)控/終止的 CMOS 相機(jī)圖像

    · 高分辨率彩色 CMOS 相機(jī)

    · 50 - 400 倍放大范圍的手動(dòng)變焦視頻鏡頭


    電腦控制

    · 內(nèi)置工業(yè)級(jí)計(jì)算機(jī)

    · 簡(jiǎn)單便捷的圖形界面和圖像分析模塊

    · 支持用戶手動(dòng)調(diào)節(jié)離子槍參數(shù),包括氣流調(diào)節(jié)

    · 用于自動(dòng)設(shè)置機(jī)械和切削參數(shù)的預(yù)編程方案(可以手動(dòng)調(diào)整)

    · 自動(dòng)樣品加載

    · 自動(dòng)終止:圖像分析模塊支持的切削過(guò)程的光學(xué)終止( 通過(guò)檢測(cè)薄區(qū)穿孔或監(jiān)測(cè)表面形貌)


    供氣系統(tǒng)

    · 99.999% 純氬氣,*壓力為 1.3 - 1.7 bar

    · 帶有電子出口壓力監(jiān)測(cè)功能的惰性氣體壓力調(diào)節(jié)器

    · 工作氣體流量高*控制


    真空系統(tǒng)

    · Pfeiffer 真空系統(tǒng)配備無(wú)油隔膜和渦輪分子泵,配備緊湊的全范圍 Pirani/Penning 真空計(jì)


    電源要求

    · 100 - 120 V/10 A/ 50-60 Hz 或 220 - 240 V/5 A/ 50-60 Hz


    成像案例


    Unimill 離子減薄儀

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