PCE-6V小型等離子清洗機(jī)集成了RF等離子體發(fā)生技術(shù)、計(jì)算機(jī)控制技術(shù)、軟件編程技術(shù),采用氣體作為清洗介質(zhì),有效地避免了因液體清洗介質(zhì)對(duì)被清洗物帶來(lái)的二次污染。工作時(shí)外接一臺(tái)真空泵,清洗腔內(nèi)的等離子體輕柔沖刷被清洗物的表面,可短時(shí)間內(nèi)清洗掉有機(jī)污染物,清洗程度可達(dá)到分子級(jí)。PCE-6V小型等離子清洗機(jī)的樣品臺(tái)可選配加熱功能,可加負(fù)偏壓,用以實(shí)現(xiàn)對(duì)樣品的離子蝕刻。此外,其可在特定條件下根據(jù)需要改變某些材料表面的性能。設(shè)備體積小,操作簡(jiǎn)單,應(yīng)用廣泛。
1、采用氣體作為清洗介質(zhì),避免了因液體清洗介質(zhì)對(duì)被清洗物帶來(lái)的二次污染。2、可短時(shí)間內(nèi)清洗掉有機(jī)污染物。3、清洗程度可達(dá)到分子級(jí)。4、可在特定條件下根據(jù)需要改變某些材料表面的性能。5、清洗過(guò)程中的輝光放電可對(duì)某些特殊用途的材料加強(qiáng)粘附性、相容性和浸潤(rùn)性,并可消毒和殺菌。6、樣品臺(tái)可選配加熱功能,可加負(fù)偏壓,用以實(shí)現(xiàn)離子蝕刻。7、廣泛應(yīng)用于光學(xué)、光電子學(xué)、電子學(xué)、材料科學(xué)、生命科學(xué)、高分子科學(xué)、生物醫(yī)學(xué)、微觀流體學(xué)等領(lǐng)域。
尺寸:245mm×235mm×460mm(不含真空泵)
重量:20kg(不含真空泵)
其他推薦產(chǎn)品
首頁(yè)| 關(guān)于我們| 聯(lián)系我們| 友情鏈接| 廣告服務(wù)| 會(huì)員服務(wù)| 付款方式| 意見(jiàn)反饋| 法律聲明| 服務(wù)條款
PCE-6V小型等離子清洗機(jī)集成了RF等離子體發(fā)生技術(shù)、計(jì)算機(jī)控制技術(shù)、軟件編程技術(shù),采用氣體作為清洗介質(zhì),有效地避免了因液體清洗介質(zhì)對(duì)被清洗物帶來(lái)的二次污染。工作時(shí)外接一臺(tái)真空泵,清洗腔內(nèi)的等離子體輕柔沖刷被清洗物的表面,可短時(shí)間內(nèi)清洗掉有機(jī)污染物,清洗程度可達(dá)到分子級(jí)。PCE-6V小型等離子清洗機(jī)的樣品臺(tái)可選配加熱功能,可加負(fù)偏壓,用以實(shí)現(xiàn)對(duì)樣品的離子蝕刻。此外,其可在特定條件下根據(jù)需要改變某些材料表面的性能。設(shè)備體積小,操作簡(jiǎn)單,應(yīng)用廣泛。
1、采用氣體作為清洗介質(zhì),避免了因液體清洗介質(zhì)對(duì)被清洗物帶來(lái)的二次污染。
2、可短時(shí)間內(nèi)清洗掉有機(jī)污染物。
3、清洗程度可達(dá)到分子級(jí)。
4、可在特定條件下根據(jù)需要改變某些材料表面的性能。
5、清洗過(guò)程中的輝光放電可對(duì)某些特殊用途的材料加強(qiáng)粘附性、相容性和浸潤(rùn)性,并可消毒和殺菌。
6、樣品臺(tái)可選配加熱功能,可加負(fù)偏壓,用以實(shí)現(xiàn)離子蝕刻。
7、廣泛應(yīng)用于光學(xué)、光電子學(xué)、電子學(xué)、材料科學(xué)、生命科學(xué)、高分子科學(xué)、生物醫(yī)學(xué)、微觀流體學(xué)等領(lǐng)域。
2、消耗功率:<500W(包括真空泵)
3、RF電源:輸出功率100W,輸出頻率13.56MHz
4、腔體:?190mm×98mm
5、石英管:?180mm×55mm,壁厚7mm
6、內(nèi)腔:?165mm×55mm
7、清洗電極:?120mm
8、樣品臺(tái):?150mm,有效尺寸?140mm
9、樣品臺(tái)與電極間距:15mm-50mm可調(diào)
10、抽氣管:?12mm
11、極限真空度:0.1Pa
12、工作真空度:60Pa-500Pa
13、氣路數(shù)量:2路(選裝)
14、流量控制器數(shù)量:1、2
15、流量顯示儀:2通道
16、氣路接口:?6mm
17、加熱樣品臺(tái):?100mm,加熱樣品溫度200℃-500℃(選裝)
18、冷卻水壓力:0.2KPa-0.4KPa
19、工作環(huán)境:溫度5℃-35℃,濕度<80%(相對(duì)濕度)不結(jié)露,海拔高度0-2000m
尺寸:245mm×235mm×460mm(不含真空泵)
重量:20kg(不含真空泵)
2、流量控制器(量程10、50、100,可增加通道數(shù)≤2)