森東寶CGO-4高低溫真空探針臺

價格
電議

型號
CGO-4

品牌
CINDBEST

所在地
深圳市

更新時間
2024-04-01 10:51:47

瀏覽次數(shù)

    CINDBEST CGO-4 | 2~6 高低溫真空探針臺測試系統(tǒng)


    特點/應(yīng)用


    ◆ 2至6英寸樣品臺


    ◆ 高真空腔體


    ◆ 防輻射屏設(shè)計,樣品溫度均勻性更好


    ◆ 77K-675K高低溫環(huán)境


    ◆ 兼容IV/CV/RF測試


    ◆ 外置多探針臂,移動行程大


    ◆ 經(jīng)濟實用,可無縫升級




    極低溫測試:

    因為晶圓在低溫大氣環(huán)境測試時,空氣中的水汽會凝結(jié)在晶圓上,會導(dǎo)致漏電過大或者探針無法接觸電極而使測試失敗。避免這些需要把真空腔內(nèi)的水汽在測試前用泵抽走,并且保持整個測試過程泵的運轉(zhuǎn)。


    高溫?zé)o氧化測試:

    當(dāng)晶圓加熱至300℃,400℃,500℃甚至更高溫度時,氧化現(xiàn)象會越來越明顯,并且溫度越高氧化越嚴(yán)重。過度氧化會導(dǎo)致晶圓電性誤差,物理和機械形變。避免這些需要把真空腔內(nèi)的氧氣在測試前用泵抽走,并且保持整個測試過程泵的運轉(zhuǎn)。


    晶圓測試過程中溫度在低溫和高溫中變換,因為熱脹冷縮現(xiàn)象,定位好的探針與器件電極間會有相對位移,這時需要針座的重新定位,針座位于腔體外部。我們也可以選擇使用操作桿控制的自動化針座來調(diào)整探針的位置。




    ◆ 腔體規(guī)格:


    型號:CGO-2/CGO-4/CGO-6


    樣品臺尺寸:2英寸/4英寸/6英寸


    樣品固定:彈簧壓片


    觀察窗口:2英寸/4英寸/6英寸


    真空度:10-6torr


    探針臂接口:4~6個探針臂接口


    其他接口:電信接口、真空接口、光纖接口、冷源接口


    制冷方式:液氮/液氦/制冷機


    溫度范圍:77K到573K/4.5K到573K


    溫控精度:0.1K/0.01K/0.001K


    穩(wěn)定性:±1K/±0.1K/±0.01K


    外形:880mm長*880mm寬*600mm高/980mm長*980mm寬*600mm高


    重量:約100千克/120千克



    ◆ 光學(xué)系統(tǒng):


    顯微鏡類型:單筒顯微鏡/體式顯微鏡/金相顯微鏡


    放大倍率:16X-200X/20X-4000X


    移動行程:水平360度旋轉(zhuǎn),Z軸行程50.8mm


    光源:外置LED環(huán)形光源/同軸光源


    CCD:200萬像素/500萬像素/1200萬像素



    ◆ 探針臂:


    X-Y-Z移動行程:50mm*50mm*50mm


    結(jié)構(gòu):外置探針臂,真空波紋管結(jié)構(gòu)


    移動精度:10微米/1微米


    線纜:同軸線/三軸線/射頻線


    漏電精度:10pA/100fA/10fA


    固定探針:彈簧固定/管狀固定


    接頭類型:BNC/三軸/香蕉頭/鱷魚夾/接線端子


    頻率支持:DC-67GHZ


    針尖直徑:0.2微米/1微米/2微米/5微米/10微米/20微米



    ◆ 其他組件:


    真空組件:分子泵組/機械泵/離子泵


    冷源組件:50L/100L液氮罐/液氦罐/制冷機



    ◆ 可選附件

    高溫配件

    顯示器

    轉(zhuǎn)接頭

    射頻測試配件

    屏蔽箱

    光學(xué)平臺

    鍍金卡盤

    光電測試配件

    高壓測試配件

    分子泵組

    激光系統(tǒng)

    氣敏測試配件


    規(guī)格及設(shè)計如有更改,恕不另行通知。


    以上信息由企業(yè)自行提供,信息內(nèi)容的真實性、準(zhǔn)確性和合法性由相關(guān)企業(yè)負(fù)責(zé),儀器儀表交易網(wǎng)對此不承擔(dān)任何保證責(zé)任。
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