價格
電議
型號
PLS960
品牌
所在地
山東省 濟寧市
更新時間
2023-08-02 11:08:01
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美國sensaras晟爾斯PLS960多點超聲波液位開關(guān)PLS960
多點超聲波液位開關(guān)PLS960簡介
美國sensaras晟爾斯多點超聲波開關(guān)PLS960介紹
超聲波侵入式多點液位系統(tǒng)主要用于半導(dǎo)體工業(yè)中PVD、
CVD、ALD等工藝所需的起泡器和安瓿瓶等容器罐內(nèi)高純度化
學(xué)品液位的高精度和高可靠性的測量。
液位系統(tǒng)在化學(xué)氣相沉積過程中至關(guān)重要,如ALD,CVD,
PVD等半導(dǎo)體晶圓制造過程。
PLS960系列多點液位系統(tǒng)用于檢測非常昂貴的高純度化
學(xué)品(DMAH、TAETO、CVD、TDEAT、CUTMUS、DTEOS、
DECT、TCA和金屬化初級粒子等)的準(zhǔn)確數(shù)量,減少化學(xué)廢
物,增加產(chǎn)量和利潤。
通過超聲波回波處理技術(shù)檢測液體在容器中的存在狀態(tài)
不受被測物的介電常數(shù)、顏色、密度和粘度等參數(shù)影響
探頭采用316L 不繡鋼材質(zhì),通過?”或?” VCR與容器連接
探頭采用套筒式或叉式結(jié)構(gòu)一體式設(shè)計,無可動部件
模塊與探頭分離,無需校準(zhǔn),易安裝
多點液位測量
高位/溢出報警
低位/停止、再進料
半導(dǎo)體行業(yè)和醫(yī)藥制藥行業(yè)
輸入: 24VDC
輸出: 每點1A SPDT
1A SPDT 報錯點、自動進料顯示
本地溫度顯示可選
可高達7點液位顯示和報錯顯示
對不同液體也無需校準(zhǔn)
重復(fù)性: +/- 0.04”(1mm)(典型)
精度: +/- 0.06 (1.5mm)
電流消耗:250mA(典型)
材質(zhì): 316LS不銹鋼
3/4" VCR連接結(jié)構(gòu)可達到7個液位檢測點
1/2" VCR連接結(jié)構(gòu)可達到4個液位檢測點
多于7個點的檢測請與我們溝通,可定制達16個點。
K-type SLE 溫度傳感器(可選)
低液位檢測點可置于探頭末端向上5毫米
兩個液位檢測點小距離可為2.5毫米
長度 : 600毫米,若需更長與我們溝通
溫度: 0° to 125°C (標(biāo)準(zhǔn)),達 160°C的定制請與我們溝通
如按安裝指南正確安裝不能達到我們所達成的規(guī)格,在
發(fā)貨日起45自然日內(nèi),Sensaras接受免費退換貨。
產(chǎn)品保修期:自發(fā)貨之日起18個月。