掃描探針顯微鏡OLS4500

價格
¥550,000.00

型號
OLS4500

品牌
奧林巴斯

所在地
暫無

更新時間
2024-09-05 16:34:53

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    實(shí)現(xiàn)納米級觀測的顯微鏡。不會丟失鎖定的目標(biāo)。

    Never loses the target once it has been captured.
    電動物鏡轉(zhuǎn)換器切換倍率和觀察方法

    配有涵蓋了低倍觀察到高倍觀察的4種物鏡,并在電動物鏡轉(zhuǎn)換器上裝配了SPM單元??梢詿o縫切換倍率和觀察方

    法,不會丟失觀察對象。此外,該款顯微鏡可以進(jìn)行納米級觀測。



    涵蓋了低倍到高倍觀察,并配有多種觀察方法可以迅速發(fā)現(xiàn)觀察對象。

    可以完成低倍到高倍的大范圍倍率觀察。不僅如此,***光學(xué)技術(shù)打造的光學(xué)顯微鏡帶來多種觀察方法,可以容易的發(fā)現(xiàn)觀察對象。此外,對于光學(xué)顯微鏡難以找到的觀察對象,還可以使用激光顯微鏡進(jìn)行觀察。在激光微分干涉(DIC)
    觀察中,可以進(jìn)行納米級微小凹凸的實(shí)時觀察。

    Brightfield Observation
    明視場觀察(IC元件)
    DIC Observation
    微分干涉(DIC)觀
    Laser DIC Observation
    激光微分干涉(DIC)觀察

    縮短從放置樣品到獲取影像的工作時間。

    放置好樣品后,所有的操作都在1臺裝置上完成??梢匝杆伲_的把觀察對象移到SPM顯微鏡下面,所以只要掃描1次就能獲取所需的SPM影像。

    Reduces the work time from sample placement to image acquisition.


    一體機(jī)的機(jī)型,所以無需重新放置樣品只要在1臺裝置上切換倍率、觀察方法就能夠靈活應(yīng)對新樣品。

    Integrated design makes it possible to use a single microscope simply by switching the magnification and observation method, without having to remove and replace the sample on another microscope

    OLS4500是把光學(xué)顯微鏡、激光顯微鏡、探針顯微鏡融于一體的一體機(jī),所以無需重新放置樣品,即可自由切換3種顯微鏡進(jìn)行觀察和評價。這3種顯微鏡各自持有優(yōu)異的性能,所以能夠高效輸出***結(jié)果。


    OLS4500實(shí)現(xiàn)了無縫觀察和測量


    【發(fā)現(xiàn)】可以迅速發(fā)現(xiàn)觀察對象

    使用光學(xué)顯微鏡的多種觀察方法, 迅速找到觀察對象

    OLS4500采用了白色LED光源, 可以觀察到顏色逼真的高分辨率彩色影像。它裝有4種物鏡, 涵蓋了低倍到高倍的大范圍觀察。OLS4500充分發(fā)揮了光學(xué)觀察的特長, 除了***常使用的明視場觀察(BF)以外, 還可以使用對微小的凹凸添加明暗對比, 達(dá)到視覺立體效果的微分干涉觀察(DIC), 以及用顏色表現(xiàn)樣品偏光性的簡易偏振光觀察。此外, OLS4500上還配有HDR功能(高動態(tài)范圍功能), 該功能使用不同的曝光時間拍攝多張影像后進(jìn)行合成, 來顯示亮度平衡更好、強(qiáng)調(diào)了紋理的影像。在OLS4500上您可以使用多種觀察方法迅速找到觀察對象。

    BF Brightfield
    BF 明視場
    ***常使用的觀察方法。在觀察中真實(shí)再現(xiàn)樣品的
    顏色。適用于觀察有明暗對比的樣品。
    DIC
    DIC 微分干涉
    對于在明視場觀察中看不到的樣品的微小高低差,
    添加明暗對比使之變?yōu)榱Ⅲw可視。適用于觀察金
    相組織、硬盤和晶圓拋光表面之類鏡面上的傷痕
    或異物等。
    Simplified Polarized Light
    簡易偏振光
    照射偏振光(有著特定振動方向的光線), 使樣
    品的偏光性變?yōu)槿庋劭梢?。適用于觀察金相組織、礦物、半導(dǎo)體材料等。
    HDR
    HDR 高動態(tài)范圍
    使用不同曝光時間拍攝多張影像并進(jìn)行影像合成,
    可以觀察平衡度較好的明亮部分和陰暗部分。此
    外,還可以強(qiáng)調(diào)紋理(表面狀態(tài)),進(jìn)行更精細(xì)的
    觀察。

    使用激光顯微鏡,可以觀察到光學(xué)顯微鏡中難以觀察到的樣品影像

    OLS4500采用了短波長405 nm的激光光源和高N.A.的物鏡, 實(shí)現(xiàn)了優(yōu)異的平面分辨率。能以鮮明的影像呈現(xiàn)出光學(xué)顯微鏡中無法看到的觀察對象。在激光微分干涉(DIC)模式中還可以實(shí)時觀察納米級的微小凹凸。

    laser_dic_observation1
    明視場觀察(玻璃板上的異物)
    laser_dic_observation2
    激光微分干涉觀察

    【接近】迅速發(fā)現(xiàn)觀察對象,在SPM上正確完成觀察

    實(shí)現(xiàn)了無縫觀察,不會丟失觀察對象

    OLS4500在電動物鏡轉(zhuǎn)換器上裝配了涵蓋低倍到高倍觀察的4種物鏡, 以及小型SPM單元。在光學(xué)顯微鏡或激光顯微鏡的50倍、100倍的實(shí)時觀察中, 由于SPM掃描范圍一直顯示于視場中心, 所以把觀察目標(biāo)點(diǎn)對準(zhǔn)該位置后, 只要切換到探針顯微鏡, 就能夠正確接近觀察對象。因此, 只需1次SPM掃描就能獲取目標(biāo)影像, 從而能夠提高工作效率并降低微懸臂的損耗。

    Seamless-Magnification Observation Keeping the Object within a Field of View


    不會在SPM觀察中迷失的、可切換式向?qū)Чδ?

    workflow of SPM

    使用探針顯微鏡開始觀察之前, 可以在向?qū)М嬅嫔显O(shè)置所需的條件, 如安裝微懸臂、掃描范圍等。所以經(jīng)驗(yàn)較少的操作者也能安心完成操作。


    【納米級測量簡單操作,可以迅速獲得測量結(jié)果

    新開發(fā)的小型SPM測頭, 減少了影像瑕疵

    Newly Developed SPM Head with Reduced Noise
    新開發(fā)的小型SPM測頭

    OLS4500采用了裝在電動物鏡轉(zhuǎn)換器上的物鏡型SPM測頭。同軸、共焦配置了物鏡和微懸臂前端,所以切換SPM觀察時不會丟失觀察目標(biāo)點(diǎn)。不僅如此,新開發(fā)的小型SPM測頭提高了剛性,所以與傳統(tǒng)產(chǎn)品相比,減少了影像瑕疵并提高了可追蹤性。


    使用向?qū)Чδ?,自由放大SPM影像

    使用向?qū)Чδ埽?可以觀察時進(jìn)一步放大探針顯微鏡拍到的影像的所需部分倍率。只要在影像上用鼠標(biāo)指針設(shè)置放大范圍并掃描, 就可以獲取所需的SPM影像??梢宰杂稍O(shè)置掃描范圍, 所以大幅度提高了觀察和測量的效率。

    Navigator to Magnify the Region as Requested
    向?qū)Чδ茉?0μm×10μm影像上放大3.5μm×3.5μm范圍


    優(yōu)異的分析功能, 應(yīng)對各種測量目的

    Analyses to Meet Different Requirements
    曲率測量(硬盤的傷痕)

    OLS4500能夠根據(jù)您的測量目的分析在各種測量模式中獲取的影像,并以CSV格式輸出測量結(jié)果。OLS4500有以下分析功能。

    • 截面形狀分析(曲率測量、夾角測量)
    • 粗糙度分析
    • 形態(tài)分析(面積、表面積、體積、高度、柱狀值、承載比)
    • 評價高度測量(線、面積)
    • 粒子分析(選項(xiàng)功能)

    跟從向?qū)М嬅娴闹甘荆?可輕松操作的6種SPM測量模式


    接觸模式

    控制微懸臂與樣品之間作用的排斥力為恒定的同時, 使微懸臂進(jìn)行靜態(tài)掃描, 在影像中呈現(xiàn)樣品的高度。還可以進(jìn)行彎曲測量。

    Contact mode 1
    Contact mode 2
    金屬薄膜

    動態(tài)模式

    使微懸臂在共振頻率附近振動, 并控制Z方向的距離使振幅恒定, 從而在影像中呈現(xiàn)樣品高度。特別適用于高分子化合物之類表面柔軟的樣品及有粘性的樣品。

    Dynamic mode 1
    Dynamic mode 2
    鋁合金表面

    相位模式

    在動態(tài)模式的掃描中, 檢測出微懸臂振動的相位延遲。可以在影像中呈現(xiàn)樣品表面的物性差。

    Phase mode 1
    Polymer Film
    高分子薄膜

    電流模式

    對樣品施加偏置電壓,檢測出微懸臂與樣品之間的電流并輸出影像。此外,還可以進(jìn)行I/V測量。

    Current mode 1
    Current mode 2
    Current mode2
    Si電路板上的SiO2圖案樣品。高度影像(左)中顯示為黃色的部分是SiO2。在電流影像(右)中顯示 為藍(lán)色(電流不經(jīng)過的部分)。通過上圖,可以明確電路板中也存在電流不經(jīng)過的部分。

    表面電位模式(KFM)

    使用導(dǎo)電性微懸臂并施加交流電壓, 檢測出微懸臂與樣品表面之間作用的靜電, 從而在影像中呈現(xiàn)樣品表面的電位。也稱作KFM(Kelvin Force Microscope)。

    Surface Potential mode1
    Surface Potential mode2
    磁帶樣品。在電位影像中可以看出數(shù)百mV的電位差分布于磁帶表面。這些電位差的分布,可以認(rèn)為
    是磁帶表面的潤滑膜分布不均勻。

    磁力模式(MFM)

    在相位模式中使用磁化后的微懸臂進(jìn)行掃描, 檢測出振動的微懸臂的相位延遲, 從而在影像中呈現(xiàn)樣品表面的磁力信息。也稱作MFM(Magnetic Force Microscope)。

    Magnetic Force mode1
    Magnetic Force mode2
    硬盤表面樣品。可以觀察到磁力信息。

    裝配了激光掃描顯微鏡,靈活應(yīng)對多種樣品


    輕松檢測85°尖銳角

    采用了有著高N.A. 的物鏡和光學(xué)系統(tǒng)(能***限度發(fā)揮405 nm 激光性能),LEXT OLS4500 可以地測量一直以來無法測量的有尖銳角的樣品。

    LEXT-Dedicated Objective Lenses
    LEXT 物鏡
    Razor with an Acute Angle
    有尖銳角的樣品(剃刀)

    高度分辨率10 nm,輕松測量微小輪廓

    由于采用405 nm的短波長激光和更高數(shù)值孔徑的物鏡, OLS4500達(dá)到了0.12 μm的平面分辨率。因此, 可以對樣品的表面進(jìn)行亞微米的測量。結(jié)合高精度的光柵讀取能力和奧林巴斯獨(dú)有的亮度檢測技術(shù), OLS4500可以分辨出亞微米到數(shù)百微米范圍內(nèi)的高度差。此外, 激光顯微鏡測量還保證了測量儀器的兩大指標(biāo)——“正確性”(測量值與真正值的接近程度)和“重復(fù)性”(多次測量值的偏差程度)的性能。

    0.12 μm Line and Space Pattern
    0.12μm行間距
    MPLAPON50XLEXT
    高度差標(biāo)準(zhǔn)類型B, PTB-5, Institut für Mikroelektronik, Germany, 6 nm高度測量中的檢測

    從大范圍拼接影像中目標(biāo)區(qū)域

    高倍率影像容易使視場范圍變小,而通過設(shè)置,OLS4500的拼接功能***多可以拼接625幅影像,從而能夠獲得高分辨率的大范圍視圖數(shù)據(jù)。不僅如此,還可以在該大范圍視圖上進(jìn)行3D顯示或3D測量。

    high speed stiching

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