特點：

▆ 提供6項職能以滿足各種需要：

1.白光共焦：白光共焦顯微鏡是利用共焦光學和白光的顯微鏡。HYBRID+ 可作為白光共焦顯微鏡進行全色高清晰度觀測和高分辨率三維輪廓測量。

2.激光共焦：HYBRID+利用共焦光學和激光光源作為激光共焦顯微鏡。它使高放大率、高分辨率的觀測和測量與掃描電子顯微鏡的性能相當。

3.差動干涉對比：共焦光學與差動干涉對比相結合，使得細地形的高對比度實時可視化。

4.垂直掃描白光干涉測量：該功能利用干涉測量技術對地形進行納米尺度測量,并對晶圓片和薄膜進行廣域波動測量。它使用雙波束干涉物鏡，以便能夠在一毫米規(guī)模的大面積上對納米尺度的地形進行高精度的剖面測量。

5.相移干涉測量：這個功能使用干涉測量來進行角度尺度地形測量。

6.光譜反射計薄膜厚度測量：這個功能使用反射計來測量厚度小于1微米的透明薄膜的厚度。

▆ 滿足行業(yè)*的規(guī)格并實現高精度：

HYBRID+ 實現行業(yè)*的性能激光顯微鏡的各種觀測和測量應用。

1.高速測量：HYBRID+實現行業(yè)*的高速幀速率(15赫茲)，在圖像拼接、自動測量、自動缺陷檢測和高速移動圖像觀測方面帶來*的性能。

2.高精度測量：HYBRID+達到行業(yè)*的測量精度和重復性。

▆ 提供各種測量、分析和支持功能,以提高可用性

LM眼,混合測試分析軟件 ⁺,提供各種功能,協助你順利運作。

▆ 自動操作以提高效率

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