VT6000激光共聚焦顯微鏡

價格
電議

型號
VT6100

品牌
中圖儀器

所在地
暫無

更新時間
2023-04-25 16:35:40

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    中圖儀器VT6000激光共聚焦顯微鏡是一款以共聚焦技術(shù)為原理、用于對各種精密器件及材料表面進行微納米級測量的檢測儀器。可對器件表面進行非接觸式掃描并建立表面3D圖像,通過系統(tǒng)軟件對器件表面3D圖像進行數(shù)據(jù)處理與分析,從而獲取反映器件表面質(zhì)量的2D、3D參數(shù)。


    激光共聚焦掃描顯微鏡,精密三維顯微測量儀器.jpg


    應用領(lǐng)域

    VT6000激光共聚焦顯微鏡可廣泛應用于半導體制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學加工、微納材料制造、汽車零部件、MEMS器件等精密加工行業(yè)及航空航天、科研所等領(lǐng)域中??蓽y各類包括從光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面,從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等。


    性能特色

    1、高精度、高重復性

    1)以轉(zhuǎn)盤共聚焦光學系統(tǒng)為基礎(chǔ),結(jié)合高穩(wěn)定性結(jié)構(gòu)設(shè)計和3D重建算法,共同組成測量系統(tǒng),儀器測量精度高;

    2)儀器的隔震設(shè)計能夠消減底面振動噪聲,在大部分的環(huán)境中穩(wěn)定可靠,具有良好的測量重復性。

    2、一體化操作的測量分析軟件

    1)測量與分析同界面操作,無須切換,測量數(shù)據(jù)自動統(tǒng)計,實現(xiàn)了快速批量測量的功能;

    2)可視化窗口,便于用戶實時觀察掃描過程;

    3)結(jié)合自定義分析模板的自動化測量功能,可自動完成多區(qū)域的測量與分析過程;

    4)幾何分析、粗糙度分析、結(jié)構(gòu)分析、頻率分析、功能分析五大功能模塊齊全;

    5)一鍵分析、多文件分析,自由組合分析項保存為分析模板,批量樣品一鍵分析,并提供數(shù)據(jù)分析與統(tǒng)計圖表功能;

    6)可測依據(jù)ISO/ASME/EUR/GBT等標準的多達300余種2D、3D參數(shù)。

    3、精密操縱手柄

    集成X、Y、Z三個方向位移調(diào)整功能的操縱手柄,可快速完成載物臺平移、Z向聚焦等測量前工作。

    4、雙重防撞保護措施

    除出擊的軟件ZSTOP設(shè)置Z向位移下限位進行防撞保護外,另在Z軸上設(shè)計有機械電子傳感器,當鏡頭觸碰到樣品表面時,儀器自動進入緊急停止狀態(tài),*限度的保護儀器,降低人為操作風險。


    中圖儀器共聚焦顯微鏡設(shè)備提供表征微觀形貌的輪廓尺寸測量功能;提供粗糙度分析、幾何輪廓分析、結(jié)構(gòu)分析、頻率分析、功能分析等五大分析功能。4)其中粗糙度分析包括依據(jù)標準的ISO4287的線粗糙度、ISO25178面粗糙度、ISO12781平整度等全參數(shù)分析功能;幾何輪廓分析包括臺階高、距離、角度、曲率等特征測量和直線度、圓度形位公差評定等功能;結(jié)構(gòu)分析包括孔洞體積和波谷深度等;頻率分析包括紋理方向和頻譜分析等功能;功能分析包括SK參數(shù)和體積參數(shù)等功能。

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