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MEMS傳感器

發(fā)布時間:2024/10/30 09:23:32 發(fā)布廠商:天長市自動化儀表廠 >> 進(jìn)入該公司展臺
MEMS是Micro-Electro-MechanicalSystem的縮寫,中文名稱是微機(jī)電系統(tǒng)。MEMS芯片簡而言之,就是用半導(dǎo)體技術(shù)在硅片上制造電子機(jī)械系統(tǒng),再形象一點說就是做一個微米納米級的機(jī)械系統(tǒng),這個機(jī)械系統(tǒng)可以把外界的物理、化學(xué)信號轉(zhuǎn)換成電信號。這類芯片做出來可以干嘛?*常用的是承擔(dān)傳感功能。 在整個大的信息系統(tǒng)里有點類似于人的感官系統(tǒng),例如MEMS麥克風(fēng)芯片相當(dāng)于人的耳朵,可以感知聲音;MEMS揚(yáng)聲器芯片相當(dāng)于人的嘴巴,可以發(fā)出聲音;MEMS加速度計、陀螺儀、磁傳感器芯片相當(dāng)于人的小腦,可以感知方向和速度;MEMS壓力芯片相當(dāng)于人的皮膚,可以感知壓力;MEMS化學(xué)傳感器相當(dāng)于人的鼻腔,可以感知味道和溫濕度。沒有MEMS芯片的人工智能和萬物互聯(lián),就相當(dāng)于沒有感官器官的人。 下圖是來自日本豐橋技術(shù)科學(xué)大學(xué),通過高精度傳感器拍攝的微米級MEMS機(jī)械結(jié)構(gòu)運(yùn)動情況,可以很直觀看到MEMS具有常規(guī)的機(jī)械系統(tǒng)結(jié)構(gòu),但是尺寸做到了微米級甚至納米級。 MEMS被認(rèn)為是21世紀(jì)*有前途的技術(shù),如果半導(dǎo)體微制造被視為*次微制造革命,MEMS則是第二次革命。通過結(jié)合硅基微電子技術(shù)和微機(jī)械加工技術(shù),MEMS具有革命性的工業(yè)和消費產(chǎn)品的潛力。 在此需要劃重點的是,MEMS是一種制造技術(shù),諸如杠桿、齒輪、活塞、發(fā)動機(jī)甚至蒸汽機(jī)都是由MEMS制造的。 事實上,MEMS這個詞實際上有一定誤導(dǎo),因為許多微機(jī)械設(shè)備在任何意義上都不是機(jī)械的。然而,MEMS又不僅僅是關(guān)于機(jī)械部件的微型化或用硅制造東西,它是是一種利用批量制造技術(shù)設(shè)計、創(chuàng)建復(fù)雜機(jī)械設(shè)備和系統(tǒng)及其集成電子設(shè)備的范例。再具化一點講,集成電路的設(shè)計是為了利用硅的電學(xué)特性,而MEMS則利用硅的機(jī)械特性,或者說利用硅的電學(xué)和機(jī)械特性。 天長市自動化儀表廠
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