OLS4500掃描探針顯微鏡-LEXT OLS4500探針掃描顯微鏡

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OLS4500掃描探針顯微鏡

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*

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上海市 上海市

更新時(shí)間
2024-02-02 09:58:01

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    OLS4500掃描探針顯微鏡-LEXT OLS4500探針掃描顯微鏡

    LEXT OLS4500是一款集成了激光顯微鏡和探針掃描顯微鏡功能于一體的納米檢測顯微鏡,可以實(shí)現(xiàn)從50倍到高100萬倍的大范圍的觀察和測量。

    OLS4500掃描探針顯微鏡-LEXT OLS4500探針掃描顯微鏡

    實(shí)現(xiàn)納米級(jí)觀測的顯微鏡。不會(huì)丟失鎖定的目標(biāo)。

    Never loses the target once it has been captured.
    電動(dòng)物鏡轉(zhuǎn)換器切換倍率和觀察方法

    配有涵蓋了低倍觀察到高倍觀察的4種物鏡,并在電動(dòng)物鏡轉(zhuǎn)換器上裝配了SPM單元??梢詿o縫切換倍率和觀察方法,不會(huì)丟失觀察對(duì)象。此外,該款顯微鏡可以進(jìn)行納米級(jí)觀測。

    涵蓋了低倍到高倍觀察,并配有多種觀察方法可以迅速發(fā)現(xiàn)觀察對(duì)象。

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    可以完成低倍到高倍的大范圍倍率觀察。不僅如此,光學(xué)技術(shù)打造的光學(xué)顯微鏡帶來多種觀察方法,可以容易的發(fā)現(xiàn)觀察對(duì)象。此外,對(duì)于光學(xué)顯微鏡難以找到的觀察對(duì)象,還可以使用激光顯微鏡進(jìn)行觀察。在激光微分干涉(DIC)
    觀察中,可以進(jìn)行納米級(jí)微小凹凸的實(shí)時(shí)觀察。

    縮短從放置樣品到獲取影像的工作時(shí)間。

    放置好樣品后,所有的操作都在1臺(tái)裝置上完成??梢匝杆?,正確的把觀察對(duì)象移到SPM顯微鏡下面,所以只要掃描1次就能獲取所需的SPM影像。

    Reduces the work time from sample placement to image acquisition.


    一體機(jī)的機(jī)型,所以無需重新放置樣品只要在1臺(tái)裝置上切換倍率、觀察方法就能夠靈活應(yīng)對(duì)新樣品。 

    Integrated design makes it possible to use a single microscope simply by switching the magnification and observation method, without having to remove and replace the sample on another microscope

    OLS4500是把光學(xué)顯微鏡、激光顯微鏡、探針顯微鏡融于一體的一體機(jī),所以無需重新放置樣品,即可自由切換3種顯微鏡進(jìn)行觀察和評(píng)價(jià)。這3種顯微鏡各自持有優(yōu)異的性能,所以能夠高效輸出佳結(jié)果。


    OLS4500實(shí)現(xiàn)了無縫觀察和測量


    【發(fā)現(xiàn)】可以迅速發(fā)現(xiàn)觀察對(duì)象

    使用光學(xué)顯微鏡的多種觀察方法, 迅速找到觀察對(duì)象

    OLS4500采用了白色LED光源, 可以觀察到顏色逼真的高分辨率彩色影像。它裝有4種物鏡, 涵蓋了低倍到高倍的大范圍觀察。OLS4500充分發(fā)揮了光學(xué)觀察的特長, 除了常使用的明視場觀察(BF)以外, 還可以使用對(duì)微小的凹凸添加明暗對(duì)比, 達(dá)到視覺立體效果的微分干涉觀察(DIC), 以及用顏色表現(xiàn)樣品偏光性的簡易偏振光觀察。此外, OLS4500上還配有HDR功能(高動(dòng)態(tài)范圍功能), 該功能使用不同的曝光時(shí)間拍攝多張影像后進(jìn)行合成, 來顯示亮度平衡更好、強(qiáng)調(diào)了紋理的影像。在OLS4500上您可以使用多種觀察方法迅速找到觀察對(duì)象。

    BF Brightfield
    BF 明視場
    常使用的觀察方法。在觀察中真實(shí)再現(xiàn)樣品的 
    顏色。適用于觀察有明暗對(duì)比的樣品。
    DIC
    DIC 微分干涉
    對(duì)于在明視場觀察中看不到的樣品的微小高低差, 
    添加明暗對(duì)比使之變?yōu)榱Ⅲw可視。適用于觀察金 
    相組織、硬盤和晶圓拋光表面之類鏡面上的傷痕 
    或異物等。
    Simplified Polarized Light
    簡易偏振光
    照射偏振光(有著特定振動(dòng)方向的光線), 使樣 
    品的偏光性變?yōu)槿庋劭梢暋_m用于觀察金相組織、礦物、半導(dǎo)體材料等。
    HDR
    HDR 高動(dòng)態(tài)范圍
    使用不同曝光時(shí)間拍攝多張影像并進(jìn)行影像合成, 
    可以觀察平衡度較好的明亮部分和陰暗部分。此 
    外,還可以強(qiáng)調(diào)紋理(表面狀態(tài)),進(jìn)行更精細(xì)的 
    觀察。

    使用激光顯微鏡,可以觀察到光學(xué)顯微鏡中難以觀察到的樣品影像

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    OLS4500采用了短波長405 nm的激光光源和高N.A.的物鏡, 實(shí)現(xiàn)了優(yōu)異的平面分辨率。能以鮮明的影像呈現(xiàn)出光學(xué)顯微鏡中無法看到的觀察對(duì)象。在激光微分干涉(DIC)模式中還可以實(shí)時(shí)觀察納米級(jí)的微小凹凸。

    裝配了激光掃描顯微鏡,靈活應(yīng)對(duì)多種樣品


    輕松檢測85°尖銳角

    采用了有著高N.A. 的物鏡和光學(xué)系統(tǒng)(能大限度發(fā)揮405 nm 激光性能),LEXT OLS4500 可以地測量一直以來無法測量的有尖銳角的樣品。

    LEXT-Dedicated Objective Lenses
    LEXT 物鏡
    Razor with an Acute Angle
    有尖銳角的樣品(剃刀)

    高度分辨率10 nm,輕松測量微小輪廓

    由于采用405 nm的短波長激光和更高數(shù)值孔徑的物鏡, OLS4500達(dá)到了0.12 μm的平面分辨率。因此, 可以對(duì)樣品的表面進(jìn)行亞微米的測量。結(jié)合高精度的光柵讀取能力和奧林巴斯獨(dú)有的亮度檢測技術(shù), OLS4500可以分辨出亞微米到數(shù)百微米范圍內(nèi)的高度差。此外, 激光顯微鏡測量還保證了測量儀器的兩大指標(biāo)——“正確性”(測量值與真正值的接近程度)和“重復(fù)性”(多次測量值的偏差程度)的性能。

    0.12 μm Line and Space Pattern
    0.12μm行間距
    MPLAPON50XLEXT
    高度差標(biāo)準(zhǔn)類型B, PTB-5, Institut für Mikroelektronik, Germany, 6 nm高度測量中的檢測

    OLS4500掃描探針顯微鏡-LEXT OLS4500探針掃描顯微鏡

    主機(jī) 規(guī)格

    LSM部分 光源、檢出系統(tǒng) 光源:405 nm半導(dǎo)體激光、檢出系統(tǒng):光電倍增管
    倍率 108~17,280X
    變焦 光學(xué)變焦:1~8X
    測量 平面測量 重復(fù)性 100x : 3σn-1=0.02μm、50x:3σn-1=0.04μm、20x:3σn-1=0.1μm
    正確性 測量值的±2%以內(nèi)
    高度測量 方式 物鏡轉(zhuǎn)換器上下驅(qū)動(dòng)方式
    行程 10mm
    內(nèi)置比例尺 0.8nm
    移動(dòng)分辨率 10nm
    顯示分辨率 1nm
    重復(fù)性 100x :σn-1= 0.012μm、50x:σn-1=0.012μm、20x:σn-1=0.04μm
    正確性 0.2+L/100 μm以下(L=測量長度)
    彩色觀察部分 光源、檢出系統(tǒng) 光源:白色LED、檢出系統(tǒng):1/1.8英寸200萬像素單片CCD
    變焦 碼變焦:1~8X
    物鏡轉(zhuǎn)換器 6孔電動(dòng)物鏡轉(zhuǎn)換器
    微分干涉單元 微分干涉滑片:U-DICR、內(nèi)置偏振光片單元
    物鏡 明視場平面半消色差透鏡5X LEXT平面復(fù)消色差透鏡20X、50X、100X
    Z對(duì)焦部分行程 76 mm
    XY載物臺(tái) 100 x 100 mm(電動(dòng)載物臺(tái))
    SPM部分 運(yùn)行模式 接觸模式、動(dòng)態(tài)模式、相位模式、電流模式*、表面電位模式(KFM)*、磁力模式(MFM)*
    位移檢出系統(tǒng) 光杠桿法
    光源 659 nm半導(dǎo)體激光
    檢出設(shè)備 光電檢測器
    大掃描范圍 X-Y:大 30 μm x 30 μm、Z:大 4.6 μm
    安裝微懸臂 在盒式微懸臂支架上一鍵安裝。使用微懸臂安裝位置調(diào)整工裝夾具預(yù)對(duì)位,更換支架時(shí)無需光學(xué)調(diào)整。
    系統(tǒng) 重量 約440 kg(不包含電腦桌)
    I額定輸入 100-120 V/220-240 V、600 VA、50/60 Hz

    *該功能為選項(xiàng)功能。


    物鏡 規(guī)格

    型號(hào) 倍率 視場 工作距離(W.D.) 數(shù)值孔徑(N.A.)
    MPLFLN5X 108-864X 2,560-320μm 20.0mm 0.15
    MPLAPON20XLEXT 432-3,456X 640-80μm 1.0mm 0.60
    MPLAPON50XLEXT 1,080-8,640X 256-32μm 0.35mm 0.95
    MPLAPON100XLEXT 2,160-17,280X 128-16μm 0.35mm 0.95


    微懸臂 規(guī)格

    用途 型號(hào) 類型 探針數(shù)量 微懸臂 探針 材質(zhì) 金屬膜 
    涂層
    共振頻率 
    (kHz)
    彈簧常數(shù) 
    (N/m)
    高度 
    (μm)
    前端半徑 
    (nm)
    探針/ 
    微懸臂
    探針涂層/ 
    反射涂層
    動(dòng)態(tài)模式/ 
    相位模式
    OMCL-AC160TS-C3 標(biāo)準(zhǔn)硅膠 24 300 26 14 7 Si / Si 無 / Al
    OMCL-AC240TS-C3 低彈簧常數(shù)硅膠 24 70 2 14 7 Si / Si 無/Al
    接觸模式 OMCL-TR800PSA-1 標(biāo)準(zhǔn)氮化硅 34 73 / 24 0.57 / 0.15 2.9 15 SiN / SiN 無/Au
    表面電位模式 OMCL-AC240TM-B3 電氣測量硅膠 18 70 2 14 15 Si / Si Pt/Al

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