FS-70

378系列-半導(dǎo)體檢測(cè)用顯微鏡

日本三豐 MITUTOYO 378-186-4 顯微鏡

特點(diǎn)：

1、此光學(xué)系統(tǒng)初是為了的FS60型（后升級(jí)為FS70型）而開(kāi)發(fā)的。它作為測(cè)量檢測(cè)半導(dǎo)體器件的顯微鏡是很理想的。

2、FS70L支持3種YAG激光波長(zhǎng)（1064nm,532nm,355nm），F(xiàn)S70L4支持2種波長(zhǎng)（532nm,266nm），可在半導(dǎo)體和液晶基板中使用薄膜激光切割技術(shù)。這就擴(kuò)大了激光的使用范圍。然而，使用三豐量具對(duì)顯微鏡的激光系統(tǒng)的性能和安全性，三豐公司不負(fù)責(zé)任。我們?cè)谶x購(gòu)激光發(fā)射器時(shí)應(yīng)仔細(xì)檢查。

3、FS70Z的標(biāo)準(zhǔn)功能有：亮視場(chǎng)，微分干涉對(duì)比（DIC）和偏振觀測(cè)。FS70L和FS70L4不支持DIC。

4、使用內(nèi)置式轉(zhuǎn)換器使得長(zhǎng)工作距離物鏡的操作很簡(jiǎn)單。

5、極易操作的設(shè)計(jì)：FS70采用正像光學(xué)系統(tǒng)（視場(chǎng)中的像與樣品方向相同）并用橡膠把手加大微調(diào)手輪。

技術(shù)參數(shù)：

對(duì)焦

方法：有同心粗調(diào)和微調(diào)手輪（左和右）

范圍：50mm測(cè)量范圍，微調(diào)0.1mm/rev.同心，粗調(diào)3.8mm/rev.

三目鏡筒圖像：正像

瞳距：Siedentopf型

調(diào)節(jié)范圍：51-76mm

視場(chǎng)數(shù)：24

俯角：0°-20°（僅用于-TH，-THS型號(hào)）

照明系統(tǒng)：亮視場(chǎng)反射照明（科勒照明、帶孔徑光闌）

光源：12V100W光纖、無(wú)極亮度調(diào)節(jié)，光導(dǎo)長(zhǎng)度1.5m、功耗150W

物鏡（選件）：M Plan Apo,M Plan Apo SL,G Plan Apo

性能參數(shù)：

型號(hào)

FS70

FS70-TH

FS70Z

FS70Z-TH

FS70L

FS70-TH

FS70L4

FS70L4-TH

貨號(hào)

378-184-1

378-184-3

378-185-1

378-185-3

378-186-1

378-186-3

378-187-1

378-187-3



短基座型號(hào)

FS70-S

FS70-THS

FS70Z-S

FS70Z-THS

FS70L-S

FS70L-THS

FS70L4-S

FS70L4-THS

貨號(hào)

378-184-2

378-184-4

378-185-2

378-185-4

378-186-2

378-186-4

378-187-2

378-187-4

對(duì)焦

50mm行程，同心焦距粗調(diào)（3.8mm/rev）和微調(diào)（0.1mm/rev）輪（左、右）

圖像

正像

瞳距

Siedentopf型，調(diào)節(jié)范圍:51-76mm

視場(chǎng)數(shù)

24

俯角

——

0°-20°

——

0°-20°

——

0°-20°

——

0°-20°

透過(guò)率

50/50

100/0或

0/100

50/50

100/0或

0/100

100/0或0/100

100/0或0/100

保護(hù)性濾光片

——

——

內(nèi)置激光射線濾光片

內(nèi)置激光射線濾光片

光管鏡頭

1X

1X-2X焦距型

1X

1X

適用激光

——

——

1064/532/355mm

532/266mm

相機(jī)端口

C-mount （使用適配器B選件）

使用帶有電視端口的激光器

C-mount插座（帶有綠色濾光片轉(zhuǎn)換開(kāi)關(guān)）

照明系統(tǒng)（選件）

亮視場(chǎng)反身照明（科勒照明、帶孔徑光闌）

12V 100W光纖、無(wú)極亮度調(diào)節(jié)、光導(dǎo)長(zhǎng)度：1.5m,功耗150W

物鏡選件（用于觀察）

M Plan Apo,M Plan Apo SL,G Plan Apo



物鏡選件（用于激光切割）

——

M/LCD Plan NIR

M/LCD Plan NU

M Plan UV

載重*

14.5kg

13.6kg

14.1kg

13.2kg

14.2kg

13.5kg

13.9kg

13.1kg

重量（主機(jī)）

6.1kg

7.1kg

14.1kg

7.5kg

6.4kg

7.2kg

6.7kg

7.5kg

*光管的載重不包括物鏡鏡頭和目鏡的重量